HG/T 5962-2021 pdf下载 硅片切割废液处理处置方法。 Treatment and disposal method for waste liquid of sllicon cutting .
本文件规定了硅片切割废液(浆)的组成、处理处置方法、环保排放要求。
本文件适用于硅片切割生产线产生的切割废液(浆) 的处理处置。
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