GB/T 42274-2022 pdf下载氮化铝材料中痕量元素(镁、镓)含量及分布的测定二次离子质谱法

2023-05-23 国家标准GB 0 0 10

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本文件描述了氮化铝单晶中痕量镁和镓含量及分布的二次离子质谱测试方法。
本文件适用于氮化铝单晶中痕量镁和镓含量及分布的定量测定,测定范围为镁、镓的含量均不小于1X1016 cm-3,元索含量(原子个数百分比)不大于1%。
注:氮化铝单晶中待测元素的含量以每立方厘米中的原子个数计。

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