本文件给出了监测粒径限值不超过0.1 μm( 100 nm)的“纳米尺度”粒子浓度的技术要求。
本文件给出的监测技术要求主要用于“动态”。
注1:本文件提及的“纳米尺度粒子”是指所有在1维上(纳米片)、2维上(纳米纤维)或3维上(纳米粒子)具有纳米尺度的纳米物质。
注2:请注意,洁净室内粒子的实际特性是由粒子的来源及其物理特性所决定的。
注3:本文件未考虑健康与安全事项。

GB/T 25915.12-2021 pdf下载 洁净室及相关受控环境 第12部分: 监测空气中纳米粒子浓度的技术要求
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