本标准规定了离予束蚀刻机的术语、产品分类、技术要求、试验方法、检验规则以及包装.运输贮存等。
本标准适用于物理溅射腐蚀作用的通用离子束蚀刻机。其它专用离子束蚀刻机亦可参照执行。
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GB/T 15861-1995 pdf下载 离子束蚀刻机通用技术条件
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