本标准规定了碳化硅单晶抛光片的平整度,即总厚度变化(TTV)、局部厚度变化(LTV)、弯曲度(Bow)、翘曲度(Warp)的测试方法。
本标准适用于直径为50.8 mm、76.2 mm.100 mm,厚度0.13 mm~1 mm碳化硅单晶抛光片平整度的测试。
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GB/T 32278-2015 pdf下载 碳化硅单晶片平整度测试方法
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