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SJ 11275-2002 pdf下载 卧式液相外延系统通用规范。Generic specification for horizontal liquid phase epitaxial system .
本规范规定了卧式液相外延系统的术语、产品型号及命名方法、技术要求、试验方法、检验规则以及包装、运输、贮存。
本规范适用于电子行业光电子器件研制、生产工艺中的卧式液相外延系统。其他行业的类似设备亦可参照执行。
SJ 11275-2002 pdf下载 卧式液相外延系统通用规范
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