HG/T 4509-2013 pdf下载 工业高纯氢氟酸。 High purity hydrofluoric acid for industrial use .
本标准规定了工业高纯氢氟酸的分级。要求,试验方法,检验规则,标志、标签,包装、运输和贮存及 安全。 本标准适用于工业高纯氢氟酸。该产品主要应用于太阳能光伏电池、液晶显示器件、集成电路和超 大规模集成电路芯片的清洗、蚀刻,以及作为生产其他高纯氟化物的原料等。

HG/T 4509-2013 pdf下载 工业高纯氢氟酸
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