本标准规定了可用于定量描述圆形半导体晶片 表面缺陷的网格图形。
本标准适用于标称直径100 mm 〜200 mm 的硅片 ，也适用于其他半导体材料晶片 。
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GB/T 16595-2019 pdf下载 晶片 通用网格规范
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