本标准规定了薄膜集成电路用氧化铝陶瓷基片的结构尺寸、技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输、贮存。
本标准适用于薄膜集成电路用氧化铝陶瓷基片(以下简称基片)。
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GB/T 14620-1993 pdf下载 薄膜集成电路用氧化铝陶瓷基片
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