本标准规定了用二次离子质谱仪( SIMS )测定光伏电池用硅材料中磷、砷和锑含量的方法。
本标准适用于光伏电池用硅材料中施主杂质磷、砷和锑含量的定量分析, 其中 磷、砷和锑的浓度均大于 1×10 14 atoms / cm 3 。
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GB/T 29852-2013 pdf下载 光伏电池用硅材料中 P 、As 、Sb 施主杂质含量的二次离子质谱测量方法
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