本标准规定了用栅控和非栅控二极管的电压电容关系测定硅外延层中净载流子浓度的测试方法。
本标准适用于外延层厚度不小于某一最小厚度值(见附录 A )相同或相反导电类型衬底上的 n 型或p 型外延层的净载流子浓度测量。 本标准也适用于硅抛光片的净载流子浓度测量。
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GB/T 14863-2013 pdf下载 用栅控和非栅控二极管的电压电容关系测定硅外延层中净载流子浓度的方法
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