GB/T 28634-2012 pdf下载 微束分析 电子探针显微分析 块状试样波谱法定量点分析

本标准规定了应用电子探针或者扫描电镜( SEM )的波谱仪( WDS ), 通过电子束与试样相互作用产生的 X 射线对试样微米尺度体积内的元素进行定量分析的要求。
内容包括:
———定量分析原理;
———本方法涉及的元素、质量分数和标准物质的一般范围;
———仪器的一般要求;
———有关试样制备、实验条件的选择、分析测量等的基本过程及报告。
本标准适用于电子束垂直入射, 要求定量分析的块状试样表面平滑、均匀。 对仪器和数据处理软件没有特殊的要求。 使用者应该从仪器制造厂家获得仪器安装条件、详细的操作程序及仪器说明书。