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SJ/T 11707-2018 pdf下载 硅通孔几何测量术语 。Terminology for through silicon via geometrical metrology.
本标准规定了硅通孔尺寸的几何测量术语和定义。
本标准适用于硅通孔尺寸的几何测量，其中硅通孔可完全贯穿硅晶圆，也可部分贯穿硅晶圆:硅通孔内可含有金属导体及其他介质，也可不包含金属导体及其他介质。
玻璃通孔尺寸的几何测量也可参考本标准。
