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SJ/T 11487-2015 pdf下载 半绝缘半导体晶片电阻率的无接触 测量方法。Non-contact measurement method for the resistivity of semi-insulating semiconductor wafer.
本标准规定了半绝缘半导体晶片电阻率的无接触测量方法。
本标准适用于半绝缘砷化镓、磷化铟、碳化硅等高阻半导体材料电阻率的测量，电阻率的测量范围为10 5Ω:cm ~10 12 Ω:cm。
SJ/T 11487-2015 pdf下载 半绝缘半导体晶片电阻率的无接触 测量方法
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