本通则规定了电子能谱的一般表面分析方法,适用于具有X射线光电子能谱(XPS或ESCA)、俄歇电子能谱(AES)和二次离子质谱(SIMS)功能的电子能谱仪。
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JY/T 013-1996 pdf下载 电子能谱仪方法通则
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