本标准规定了氦质谱真空检漏方法实施的一般要求,三种常用的氦质谱真空检漏方法在应用对象、系统组成、检漏程序等方面的要求以及对检漏文件的要求。
本标准适用于各行业中采用氦质谱真空检漏方法的部件、组件、分系统级以及系统级产品。
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GB/T 36176-2018 pdf下载 真空技术 氦质谱真空检漏方法
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