本标准规定了表征以半导体探测器、前置放大器和信号处理系统为基本构成的X射线能谱仪(EDS)特性最重要的性能参数。本标准仅适用于基于固态电离原理的半导体探测器能谱仪。本标准规定了与扫描电镜(SEM)或电子探针(EPMA)联用的EDS性能参数的最低要求以及核查方法。至于实际分析过程,在ISO 22309[2]和ASTM E1508[3]中已有规范,不在本标准范围之内。
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GB/T 20726-2015 pdf下载 微束分析 电子探针显微分析X射线能谱仪主要性能参数及核查方法
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